• 莱宝高级光学镀膜机(红外)
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  • 制造厂商:布勒莱宝光学设备有限公司
  • 购置日期:2000-01-01
  • 型号:ARES1100
  • 生产国别:
  • 功能/应用范围: 主要用于红外波段光学增透膜、高反膜、截止滤光片,窄带、超窄带、极窄带滤光片等光学薄膜蒸镀,配备两把电子枪、电阻加热蒸发源和等离子体辅助源,一次可蒸镀多片不同尺寸(1寸、2寸、3寸、4寸、5寸、40mm*40mm、10mm*10mm等)的样品
  • 主要附件: 光学监控系统、离子源、电子束蒸发源、电阻蒸发源、石英晶振系统、真空泵组
  • 主要技术指标: 光学膜厚仪监控波长范围:400-2500nm,波长精度:<±1nm, 配置离子源,离子流密度分布均匀; 基底最高加热温度:300℃。 目前可淀积材料包括:Si、SiO、ZnS、Ge等 蒸发速率0.5A/s-20A/s, 工作真空:1E-6mbar, 气体(Ar、O2)
  • 技术特色: 1、同时配有德国莱宝公司独有的高级光学膜厚控制仪和晶振控制器,可以实现膜厚的精确控制,实现各种高性能薄膜的镀制; 2、配离子轰击装置达到净化基体表面的作用,使膜与基体表面附着力更好,提高膜层的质量与强度。 3、腔体大,均匀性和重复性好,可实现高性能光学薄膜的批量生产。 4、可以按要求定制各种参数指标、各种规格的光学薄膜。

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