• 红外光谱型椭偏仪
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  • 制造厂商:Sopra公司/SEMILAB
  • 购置日期:2011-12-09
  • 型号:GES5E
  • 生产国别:
  • 功能/应用范围: 半导体、化合物半导体(GaAs/SiC)、LCD及MEMS领域,光学薄膜
  • 主要附件: 主机,样品台,NICOLET-A380
  • 主要技术指标: 分光系统:光栅模式,迈克尔逊干涉仪; 测量范围:2 μm-25μm; 光谱扫描精度:优于0.05nm; 可变角测量:8到90度; 光束直径:1mm-8mm。
  • 技术特色: Sopra公司是世界上最知名的椭偏仪设备供应商,其高精度的椭偏仪在半导体、化合物半导体(GaAs/SiC)、LCD及MEMS领域有着非常广泛的应用。目前,全世界有超过500台的Sopra椭偏仪应用于各个行业。

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